微机械陀螺测试技术的研究  

Investigation of Test Technology of Micro-machined Gyroscope

作　　者：罗文华[1] 温廷敦[1] 

机构地区：[1]中北大学仪器科学与测试技术教育部重点实验室,山西太原030051

出　　处：《太原师范学院学报（自然科学版）》2008年第1期96-98,共3页Journal of Taiyuan Normal University:Natural Science Edition

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60476043)

摘　　要：文章介绍了微机械陀螺的基本原理以及几种不同检测方式的硅微陀螺,包括电容式、压电式、压阻式、隧道式等,分析了这些微陀螺的基本检测原理,总结出它们在检测性能方面存在的一些问题.为了提高微机械陀螺的灵敏度提出用新的微机理介观压阻效应,并对基于介观压阻效应的微陀螺前景进行了论述.There explains the basic principle of silicon micro-machined gyroscope and several kinds of measure principle,including capacitive type,piezoelectricity type,piezoresistive type,tunneling type.The characteristics of these types are introduced.Some fo cused problems are pointed out,and several methods and advices are offered to improve the property of silicon Micro-machined gyroscope.Furthermore,the principle and application prospect of the meso-piezoresistance which is a new micro-mechanisms also discussed.

关 键 词：微机械陀螺 介观压阻效应 共振隧穿 超晶格 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]