微型电液动力泵的实验  

Experiment of electrohydrodynaic micropump

作　　者：孙翠霞[1] 于翮[1] 李德胜[2] 俞坚[1] 

机构地区：[1]北京工业大学传热强化与过程节能教育部重点实验室及传热与能源利用北京市重点实验室,北京100022 [2]北京工业大学机电学院,北京100022

出　　处：《功能材料与器件学报》2008年第2期508-511,共4页Journal of Functional Materials and Devices

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.50676001)

摘　　要：本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究。微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动。分别采用HFE7100和无水乙醇作为工作流体进行了静压头测试。使用HFE7100时最高可以得到1050Pa的压头。An electrohydrodynamic （EHD） micropump with planar electrodes on a silcon substrate is fabricated and tested. The micropump consists of a planar electrode array driven by DC voltage. Static pressure tests were performed with HFE7100 and ethyl alcohol as working fluid. The maximum pressure head achieved by this micropump was 1050Pa for HFE7100.

关 键 词：电液动力泵 MEMS 离子拖曳 

分 类 号：TB308[一般工业技术—材料科学与工程]