高精度X射线双晶衍射仪的原理及其应用  

Principle and Applications of High Resolution Double crystal X ray Diffractometer

作　　者：卢焕明[1] 赵轶[1] 叶志镇[1] 

机构地区：[1]浙江大学硅材料国家重点实验室

出　　处：《材料科学与工程》1997年第4期51-53,共3页Materials Science and Engineering

摘　　要：本文介绍了Ｘ射线双晶衍射仪的特点及其原理，以及利用Ｘ射线摇摆曲线技术在半导体材料研究方面的应用。\ In this paper, the principle of double crystal x ray diffractometer (DCD) is introduced. The paper also reviews the applications of DCD in analysis of semiconducting materials.

关 键 词：双晶衍射 摇摆曲线 超晶格 X射线 

分 类 号：O766.4[理学—晶体学] TH838[机械工程—仪器科学与技术]