KLA-Tencor为晶片厂推出光罩检查系统的全新TeraFab系列  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第4期65-65,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：KLA-Tencor公司日前推出了全新系列的光罩检查系统,为晶片厂提供更灵活的配置方式,以检验进货的光罩,并检查生产光罩是否存在会降低产能并增加生产风险的污染物。TeraFab系统提供了2种基本配置,以满足逻辑集成电路和内存晶片厂及不同代光罩的特殊检查要求。这些配置为芯片制造商提供了极具成本效益的光罩质量控制的先进工具。

关 键 词：检查系统 光罩 晶片 KLA-Tencor公司 基本配置 逻辑集成电路 生产风险 ab系统 

分 类 号：U169[交通运输工程] TP332[自动化与计算机技术—计算机系统结构]