用^(14)N(d,α_1)^(12)C核反应研究注入氮在纯铁和GCr15钢中的深度分布  

Nitrogen depth profile in pure Fe and QCr15 steel using ^(14)N(d,a1)^(12)C reaction

作　　者：陈家超[1] 吴美珍[1] 唐吉玉 孙友梅[1] 王志光[1] 

机构地区：[1]中国科学院近代物理研究所

出　　处：《核技术》1990年第10期577-582,共6页Nuclear Techniques

基　　金：国家自然科学基金;中国科学院兰州分院科技发展基金

摘　　要：本文描述了利用^(14)N(d,a_1)^(12)C核反应测量固体样品表面层内氮原子含量及深度分布的方法。在Si_3N_4标准样品中,所得到的表面处的深度分辨为48nm。利用该分析手段,研究了在不同注入温度条件下,氮离子注入纯铁和GCr15钢的保留量及深度分布的变化情况。The nitrogen depth profile and concentration are measured by means of 14N(d,a1)12C reaction. With a standard sample Si3N4 the depth resolution at the surface region is determined to be 48nm. By using this method, the nitrogen depth profile and retained dose are studied for pure Fe and GCr15 steel implanted by N+ at different implantation temperatures.

关 键 词：深度分布 渗氮 离子注入 GCR15钢 

分 类 号：TG156.8[金属学及工艺—热处理]