基于柔性衬底的人造视网膜生物微电极阵列研究  

Study of Polyimide-Based Bio-Electrode Array for Retinal Prostheses

作　　者：刘舒维[1] 陈迪[1] 柴新禹[2] 刘景全[1] 陈翔[1] 朱军[1] 任秋实[2] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科技研究院微米／纳米加工技术国家级实验室,上海200030 [2]上海交通大学生命科学技术学院,上海200030

出　　处：《传感技术学报》2008年第4期550-552,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家863、973计划资助项目(2006AA04Z356,2006AA04Z308,2005CB724302)

摘　　要：设计了一种用于刺激视网膜的生物微电极阵列,采用非硅MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上制备出了具有一定生物相容性的,电极数为20的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的完整释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物相容性;采用PDMS作为柔性衬底与玻璃片的粘附层,使得器件的释放过程,简单且无毒无害,对器件也无损害。制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好。对微电极阵列进行了电学性能测试,在10-5000Hz频率范围,其阻抗为10^4-10^6欧姆,符合电刺激要求。The feasibility of an implantable retinal prosthesis that would partially restore vision by direct electrical stimulation of retinal neurons has been proved by studies. We have fabricated the stimulating hio-eleetrode array on the flexible suhstrate by micro electro mechanical system （MEMS） techniques. The stimulating electrodes are 100 μm in diameter, packaged by polyimide which is a good water harrier. The impedance of single electrode is 10^4 to 10^6 Ohm in the range of frequencies from 10 to 5 000 Hz.

关 键 词：生物电极 生物相容性 MEMS技术 

分 类 号：TP212.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]