一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工  

Design and Fabrication of a Novel Piezoresistive Accelerometer

作　　者：胡杰[1] 薛晨阳[1] 张文栋[1] 张斌珍[1] 乔慧[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051

出　　处：《传感技术学报》2008年第4期581-584,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50405025;50535030)国家自然科学基金资助(50405025);新世纪优秀人才支持计划;山西省博士基金资助

摘　　要：提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算,并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了静态和模态分析,首次采用空气桥和控制孔加工工艺对共振隧穿二极管和悬臂梁-质量块结构进行了加工,并对加工出来的加速度计结构进行了频响特性实验。A novel piezoresistive accelerometer based on the A1As/InxGal-xAs/GaAs resonant tunneling thin films has been introduced. The sensitive structure parameters were calculated and analyzed by MAT- LAB. The static and modal characteristics were simulated by ANSYS. The resonant tunneling diode and cantilever-proof mass structure have been fabricated by air-bridge and control hole technique. The dynamic experiment shows that the accelerometer has a good frequency response.

关 键 词：共振隧穿纳米薄膜 压阻式加速度计 控制孔工艺 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]