胡杰

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：中北大学更多>>
发文主题：加速度计GAAS共振隧穿微加速度计压阻型更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《微纳电子技术》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”博士科研启动基金更多>>
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一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工被引量：1
《传感技术学报》2008年第4期581-584,共4页胡杰 薛晨阳 张文栋 张斌珍 乔慧 
国家自然科学基金资助项目(50405025;50535030)国家自然科学基金资助(50405025);新世纪优秀人才支持计划;山西省博士基金资助
提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算,并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了静态和模态分析,首次采用空气桥和控制孔加工工艺对共振隧穿二极管...
关键词：共振隧穿纳米薄膜 压阻式加速度计 控制孔工艺 
基于共振隧穿微结构的GaAs基加速度计
《仪表技术与传感器》2007年第11期7-8,17,共3页李旭 秦丽 张斌珍 胡杰 
国家自然科学基金资助(50405025;50375050)
介绍了一种基于共振隧穿微结构的GaAs基四梁式加速度计,设计了共振隧穿微结构以及GaAs基加速度计的结构,分析了加速度计的力学特性,讨论了加速度计的加工工艺,并利用该工艺在国内首次制作出加速度计。在分析了串联电阻的影响后,设计了...
关键词：共振隧穿微结构 加速度计 GAAS 
GaAs基共振隧穿微加速度计的研究
《微纳电子技术》2007年第7期235-237,共3页胡杰 薛晨阳 张文栋 熊继军 张斌珍 
研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构。该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构。加速度计的压敏元件和悬臂梁的加工分别利用空气桥工艺和控制孔工艺。对加工出来的加速度计结构进行...
关键词：加速度计 共振隧穿薄膜 双空气桥工艺 控制孔工艺 
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