李旭

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供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
发文主题：加速度计GAAS更多>>
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基于共振隧穿微结构的GaAs基加速度计
《仪表技术与传感器》2007年第11期7-8,17,共3页李旭 秦丽 张斌珍 胡杰 
国家自然科学基金资助(50405025;50375050)
介绍了一种基于共振隧穿微结构的GaAs基四梁式加速度计,设计了共振隧穿微结构以及GaAs基加速度计的结构,分析了加速度计的力学特性,讨论了加速度计的加工工艺,并利用该工艺在国内首次制作出加速度计。在分析了串联电阻的影响后,设计了...
关键词：共振隧穿微结构 加速度计 GAAS 
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