悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展  

Key technology,innovation design and current development of micro gyroscope with levitation rotor

作　　者：张卫平[1] 陈文元[1] 赵小林[1] 吴校生[1] 崔峰[1] 刘武[1] 黄晓刚[1] 肖奇军[1] 马高印[1] 张忠榕[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030

出　　处：《功能材料与器件学报》2008年第3期721-728,共8页Journal of Functional Materials and Devices

基　　金：国家自然科学基金(60402003);武器装备预研基金(9140A09020706JW0314)的支持

摘　　要：分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。The principle and key technology of micro gyroscope with a levitation rotor is analyzed.Many kinds of schemes and key are given.And the current development of micro gyroscope is also summarized.

关 键 词：悬浮转子微陀螺 技术关键 方案 最新进展 

分 类 号：O484[理学—固体物理]