一种新型微机械加速度开关的设计  

Design of A New Micromachined Acceleration Switch

作　　者：王洋[1] 腾永华[1] 赵龙[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所

出　　处：《仪表技术与传感器》1997年第10期33-35,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：本文介绍了一种具有静电自锁功能的微机械加速度开关的原理，并且做了相应的理论分析。This paper introduces the design principle of a new micromachined acceleration switch with electrostatic force self-lock.The relative theoretical analysis is presented.The switch is very useful in inertia control systems.

关 键 词：微机械 加速度开关 原理 理论分析 控制开关 

分 类 号：TP211.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TM564.8[自动化与计算机技术—控制科学与工程]