2008年美国西部半导体展产品预览（SEMICON West2008）  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第6期66-67,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：经过实地应用验证的GEMINI平台是EV Group面向MEMS、3D集成、高级封装及复合半导体应用等高产型晶圆键合应用而提供的生产制造解决方案。

关 键 词：复合半导体 美国西部 预览 产品 GEMINI MEMS 生产制造 应用 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学] TP311[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]