气相二氧化硅发展新模式及其对多晶硅工业的促进作用  

作　　者：段先健 冯钦邦 

机构地区：[1]广州吉必盛科技实业有限公司,广州510450

出　　处：《有机硅氟资讯》2008年第7期42-46,共5页Silicone and Fluorine Information

摘　　要：气相二氧化硅是硅的卤化物（主要是四氯化硅和甲基三氯硅烷）在氢氧火焰中高温水解生成的纳米级白色粉末，又叫气相法白炭黑，是重要的补强填料和多功能的添加剂，广泛应用于硅橡胶、橡胶、塑料、涂料、油墨、医药、造纸、食品、化妆晶、化学机械抛光等行业，可起到补强、增稠、触变、消光等作用，它是一种在世界范围内真正工业化的纳米材料。气相二氧化硅在国外已有60多年的生产历史，

关 键 词：气相二氧化硅 多晶硅 工业化 甲基三氯硅烷 气相法白炭黑 化学机械抛光 补强填料 白色粉末 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工] TN304.12[电子电信—物理电子学]