Hg_(1-x)Cd_xTe液相外延层表面交错直线线痕的形貌分析  

作　　者：陶长远[1] 

机构地区：[1]昆明物理研究所

出　　处：《红外与激光技术》1990年第2期36-40,共5页

摘　　要：以CdTe为衬底的Hg_(1-x)Cd_xTe液相外延层表面边角处时常出现交错直线线痕,其所及之处破坏了表面的光洁度和平整性.对交错直线线痕进行了研究分析,并首次提出CdTe衬底中交错位错排的存在,导致Hg_(1-x)Cd_xTe液相外延层表面交错直线线痕的形成,再现性实验充分证明了这一推断的正确性。

关 键 词：HGCDTE 液相外延 表面缺陷 金相 

分 类 号：TN304.22[电子电信—物理电子学]