云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 液相外延

液相外延: 作品数：293被引量：257H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：杨建荣戴宁魏彦锋姚忻胡淑红更多>>; 相关机构：中国科学院昆明物理研究所上海交通大学电子科技大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>

液相外延碲镉汞薄膜表面“陨石坑”状缺陷研究: 《红外》2024年第10期30-37,共8页胡易林杨海燕侯晓敏李乾牛佳佳郝斐折伟林王利军; 随着红外探测器技术的发展,对高质量碲镉汞外延材料质量的要求逐渐提高,这也对碲锌镉衬底质量提出了更高的要求。对液相外延碲镉汞薄膜表面上一种尺寸较大且周围伴有平台的点状缺陷进行了形貌及成分表征。该类型缺陷的形貌类似于中间凹...; 关键词：碲镉汞碲锌镉缺陷孔洞聚焦离子束

100 mm×100 mm液相外延碲镉汞薄膜技术进展: 《红外技术》2024年第10期1172-1177,共6页邓文斌宋林伟孔金丞姜军杨晋起文斌万志远刘燕荣徽宇许江明杨翔朱逊郑要争姬荣斌; 昆明物理研究所突破了φ150 mm碲锌镉单晶定向生长技术,实现了100 mm×100 mm碲锌镉衬底的小批量制备,位错腐蚀坑密度(EPD)≤4×10^(4) cm^(-2),沉积相尺寸小于5μm、沉积相密度小于5×10^(3) cm^(-2)。突破了大尺寸碲锌镉衬底表面处理...; 关键词：液相外延 100mm×100mm 碲锌镉碲镉汞

高质量碲镉汞双层异质结材料制备: 《激光与红外》2024年第8期1258-1262,共5页郝斐折伟林杨海燕刘兴新胡易林邢晓帅刘世光王鑫孙浩; 本文重点介绍了富汞垂直液相外延技术,在对该技术进行研究时,提出了一种温场优化方法和一种生长方法来提升材料质量和工艺稳定性。最后介绍基于双层异质结材料采用台面结器件加工等碲镉汞探测器组件制备方法,制备中波、长波和甚长波碲...; 关键词：碲镉汞富汞垂直液相外延 p-on-n型异质结

改进碲镉汞液相外延方法原位生长正组分梯度薄膜材料: 《红外与毫米波学报》2024年第3期305-313,共9页霍勤韩红强张诚焦翠灵王仍毛铖铭陆液陈心恬乔辉李向阳; 国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(12227901)。; 研究了液相外延生长条件对碲镉汞薄膜材料组分梯度的影响,建立了指导液相外延生长的理论模型。通过改变水平推舟液相外延工艺的汞损失速率,生长出具有正组分梯度的碲镉汞薄膜材料。针对这种特定条件下生长的碲镉汞外延薄膜,通过腐蚀减...; 关键词：碲镉汞液相外延组分梯度二次离子质谱

中国电科11所碲镉汞薄膜材料制备技术进展被引量：3: 《激光与红外》2024年第4期483-494,共12页折伟林邢晓帅邢伟荣刘江高郝斐杨海燕王丹侯晓敏李振兴王成刚; 碲镉汞材料具有响应速度快、量子效率高、带隙连续可调等优点,广泛应用于红外探测领域,本文报道了近年来中国电科11所在碲镉汞薄膜材料制备方面的技术进展。在碲锌镉衬底材料制备方面,已突破Φ135mm碲锌镉晶体生长技术,碲锌镉衬底平均...; 关键词：碲锌镉碲镉汞双层异质结红外探测液相外延分子束外延

液相外延碲镉汞中砷离子注入与激活表征研究: 《半导体光电》2023年第4期568-572,共5页卢致超林春王溪李珣孙权志; As在HgCdTe材料中具有较小的扩散系数,可以形成较为稳定的结构,广泛应用于HgCdTe的p型掺杂。在p-on-n型碲镉汞红外探测器的制备中As掺杂是重要的制备方法。针对在制备过程中存在无法精确测量As激活率的问题,提出采用低温弱p型退火辅助...; 关键词：液相外延碲镉汞 As离子注入激活率弱p型退火

液相外延碲镉汞薄膜缺陷综述被引量：1: 《红外与激光工程》2023年第7期286-301,共16页起文斌丛树仁宋林伟李沛江先燕俞见云宁卓邓文斌孔金丞; 国家重点研发计划项目(SQ2020YFB200190)。; 液相外延是碲镉汞(MCT)薄膜生长领域最成熟的一种方法,被众多红外探测器研究机构和生产商所采用。然而由于MCT材料自身属性和具体制备工艺的原因,液相外延生长过程中不可避免地会产生各种缺陷,从而降低红外探测器的性能。为了增加对液...; 关键词：碲镉汞材料液相外延缺陷形成机理缺陷消除方法

大规模红外焦平面阵列探测器的有效像元率研究被引量：1: 《红外》2023年第6期1-6,共6页谢珩周铭李春领刘江高; 随着大规模红外焦平面阵列探测器应用的日益广泛,用户对其有效像元率指标提出了越来越高的要求。分析了有效像元率提升的难点。通过优化基于垂直布里奇曼法的衬底生长以及表面加工等工艺,提高了液相外延材料质量,获得了低缺陷中波碲镉...; 关键词：有效像元率红外焦平面阵列液相外延倒装互连

液相外延法制备的掺杂石榴石单晶薄膜被引量：1: 《磁性材料及器件》2023年第3期17-21,共5页李阳李俊陈运茂魏占涛刘庆元帅世荣蓝江河; 以高纯氧化物为原材料,采用液相外延法(LPE)制备直径3英寸、厚度20μm以上的掺杂钇铁石榴石(YIG)单晶薄膜,通过离子掺杂对薄膜的饱和磁化强度进行调控,范围为800~1750 G。X射线衍射分析表明薄膜仅有单一衍射峰,且半高宽值约为0.007°。...; 关键词：石榴石单晶薄膜液相外延离子掺杂饱和磁化强度

InAs基室温中波红外探测器的液相外延生长: 《红外与毫米波学报》2023年第3期306-310,共5页陈泽中段永飞林虹宇张振宇谢浩孙艳胡淑红戴宁; Supported by the National Natural Science Foundation of China (11933006);the Frontier Science Research Project (Key Programs) of the Chinese Academy of Sciences (QYZDJ-SSW-SLH018);the National Natural Science Foundation of China (U2141240)。; 材料质量好坏对于获得高性能红外探测器至关重要。提出决定材料质量的关键点在于精准控制材料结构中层与层之间的晶格失配度,报道了晶格失配对材料质量和器件暗电流性能的影响。实验结论表明在液相外延技术生长的InAs/InAsSbP材料体系中...; 关键词：半导体四元合金红外探测器液相外延晶格失配

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