乌氏干涉仪示值误差检定及其方法误差分析  

作　　者：林伟光 

机构地区：[1]桂林市计量测试研究所

出　　处：《上海计量测试》1997年第5期32-33,共2页Shanghai Measurement and Testing

摘　　要：JJG101-81检定规程指出:检定示值误差应在分度值为0.2,0.1,0.05UM情况下以二等量块配对法进行.

关 键 词：干涉仪 乌氏干涉仪 示值误差 检定 

分 类 号：TH744.306[机械工程—光学工程]