半导体制造用特气的解毒措施  

作　　者：壹内俊宏 韩美 

出　　处：《低温与特气》1997年第2期54-60,共7页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：半导体制造用特气的解毒措施壹内俊宏在半导体制造中，使用多种具有毒性、可燃性和腐蚀性的特气。根据高压气管理法，这些气体大多数需要进行解毒处理，即使是其它的气体，根据高压气体保安协会的“特气防灾标准”也应进行解毒处理。管理法中规定了气体应进行无害化处理，...

关 键 词：半导体制造 特气 解毒措施 无线电工厂 

分 类 号：TQ117[化学工程—无机化工] TN082[电子电信—物理电子学]