LCD黑矩阵的激光制造技术  

作　　者：杨小天 

出　　处：《光机电信息》2008年第8期16-21,共6页OME Information

摘　　要：本文提出了一种新型的LCD黑矩阵激光制造技术,设计了以高功率Q开关半导体泵浦的Nd∶YAG固体激光器为主体的激光系统,采用激光背照射喷水辅助的方法制作了黑矩阵样品,有效解决了图形精度和残留物的问题。激光技术与现有的光刻技术相比具有多方面的优越性,很有可能成为现有光刻工艺的取代者。

关 键 词：激光系统 制造技术 黑矩阵 LCD ND:YAG固体激光器 半导体泵浦 光刻技术 激光技术 

分 类 号：TN24[电子电信—物理电子学] TN873.93