薄膜应力快速测量系统的研制  

A RAPID MEASURING SYSTEM FOR THIN FILM STRESS

作　　者：罗庆芳[1,2] 郭述文 李宝清 邹道文[1,2] 夏至洪 

机构地区：[1]南昌大学物理学系 [2]江西师范大学

出　　处：《南昌大学学报（理科版）》1997年第2期172-175,共4页Journal of Nanchang University(Natural Science)

基　　金：江西省自然科学基金

摘　　要：采用激光干涉原理，ＣＣＤ摄像。This paper describes a rapid measuring method for thin film stress utilizing laser interferency,CCD photography and computer processing techiques.

关 键 词：激光干涉 CCD摄像 计算机处理 薄膜 内应力 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]