用于φ2mm电磁型微马达的微3K-2型行星齿轮减速器的研究  

A STUDY ON MICRO 3K-2 PLANETARY GEARS REDUCTION DRIVER FOR φ2mm ELECTRONIC-MAGNETIC MICROMOTOY

作　　者：陈文元[1] 丁涛[1] 李世峰[1] 姚景元 

机构地区：[1]上海交通大学信息存储研究中心,上海200030

出　　处：《微细加工技术》1997年第4期49-54,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：本文仅就用于微马达的微3K－2型行星齿轮减速器的设计，微细电火花（EDM；electricaldischargemachining）加工以及研究中的一些难点作一阐述。In this article, The design of 3K-2 micro planetary gear reduction driver that is used for micro motor, as well as micro electrical discharge machining (EDM) manufacture and some problems during the study were discussed

关 键 词：微型机电系统 微马达 行星齿轮 减速器 

分 类 号：TM380.3[电气工程—电机] TH132.4[机械工程—机械制造及自动化]