微型机电系统

作品数：117被引量：455H指数：11
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MEMS低功耗催化甲烷传感器脉冲供电研究被引量：3
《工矿自动化》2018年第7期27-31,共5页沈国杰 
重庆市本科高校"三特行动计划"特色专业建设项目(渝教高[2015]69号)
针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式。通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特...
关键词：甲烷传感器 微型机电系统 脉冲供电 载体催化 MEMS催化元件 低功耗 
PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作
《信息记录材料》2018年第1期35-37,共3页钱丽勋 郑升灵 李宏军 
文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利用多物理场原理对压电谐振器结构进行了仿真优化。多物理场仿真可以更加直观,深入的理解PCMR的工作原理...
关键词：多物理场仿真 压电轮廓模式谐振器 微型机电系统 
在薄片上打印传感器的最新进展（一）
《现代材料动态》2016年第12期1-4,共4页董丽 
前言 近年来，微系统传感单元的销量大幅增加。其中，基于微型机电系统（MEMS）的加速计、陀螺仪、耳机、和压力、温度、湿度传感器进入到了消费市场，尤其在手机中得到大规模应用。来自该领域的分析人士认为，这仅仅是新传感世纪的开始。
关键词：湿度传感器 打印 薄片 微型机电系统 消费市场 微系统 加速计 陀螺仪 
基于多传感器融合的TBM姿态角测量方法被引量：11
《华中科技大学学报（自然科学版）》2015年第12期48-51,81,共5页张春草 张剑波 朱国力 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2013CB035405)
为了解决倾角仪在硬岩掘进过程中强振动环境下的失效问题,基于倾角仪输出精度高、微型机电系统(MEMS)陀螺仪抗振动强的优点,提出了多传感融合的姿态测量方法.采用Allan方差方法建立MEMS陀螺仪的随机误差模型,并用扩展卡尔曼滤波算法对...
关键词：多传感器融合 姿态测量 倾角仪 微型机电系统陀螺仪 扩展卡尔曼滤波 隧道掘进机(TBM) 
MEMS阳极键合界面层的力学行为研究进展被引量：5
《南京航空航天大学学报》2015年第4期474-486,共13页胡宇群 董明佳 
国家自然科学基金(11272144)资助项目;江苏省自然科学基金(BK2011737)资助项目
回顾了微纳机电系统(Micro/Nano electro-mechanical system,MEMS/NEMS)器件工业中所用键合技术的发展和应用,总结了作为其中关键键合技术之一的阳极键合在微纳系统中的重要作用及其主要特点,分析了阳极键合的机理以及所涉及的力学问题...
关键词：微型机电系统 阳极键合 力学行为 键合技术 
粗糙的氧化锌涂层能防止粘连
《现代材料动态》2014年第12期6-6,共1页董丽 
科学家报道称粗糙氧化锌涂层能防止细小的硅零件相互粘接在一起。Xinchu Lu和同事解释说在设计非常小的微型机电系统（MEMS）时，需要重点考虑粘接问题。硅广泛用于MEMS装置，但它是粘性的。传统的解决方法是在硅上包覆拒水涂层或者使...
关键词：锌涂层 粗糙 氧化 粘连 微型机电系统 MEMS 科学家 粘接 
微型旋转机械轴承研究进展
《环球市场信息导报》2014年第40期79-81,共3页刘志刚 
本文的主要研究对象是微机电系统(MEMS)旋转机械微轴承,为了能够清晰明确的表达,笔者首先简要介绍了微型旋转机械轴承的相关概念,从而使读者能够从宏观上对本文的研究对象有一个把握,进而在此基础上进一步介绍微型干摩擦、电磁和气体轴...
关键词：机械轴承 气体轴承 微机电系统 微型机电系统 电磁轴承 润滑特性 组成部件 微尺度 干摩擦 批量生产 
中国MEMS市场发展迅猛国外代工厂加大投入
《今日电子》2014年第10期25-25,共1页王丽英 
MEMS（Micro Electromechanical System,即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学...
关键词：MEMS传感器 市场发展 微电子机械系统 汽车安全气囊 工厂 国外 中国 微型机电系统 
MEMS前景看好 道路曲折
《半导体信息》2014年第1期33-34,共2页赵佶 
MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点。
关键词：道路曲折 MEMS 微型机电系统 微机电系统 执行器 接口电路 医疗电子 控制电路 平板电脑 年复合 
微型仿生肠道内窥镜机器人的设计与实验被引量：1
《测控技术》2013年第12期65-68,72,共5页李琳娜 颜国正 姜萍萍 王志武 刘华 
国家自然科学基金资助项目(31170968);载人航天领域预先研究项目(010203);上海市科委项目(09DZ1907400)
根据当前胃肠道内窥镜自主运动机器人的研究方向,设计了一种微型的肠道内窥镜机器人系统。机器人采用仿尺蠖式的运动步态,通过直流无刷电机驱动驻留-伸缩-驻留式的结构实现主动运动。整体采用模块化设计,主要包括驻留机构、伸缩机构、...
关键词：肠道机器人 微型机电系统 尺蠖式运动 无线供能 
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