郑升灵

作品数：9被引量：18H指数：3
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：体声波谐振器LC滤波器3D集成基板滤波器技术更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《数字技术与应用》《半导体技术》《压电与声光》《信息记录材料》更多>>
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RF微谐振器研究进展
《数字技术与应用》2018年第6期50-51,53,共3页杨亮 郑升灵 
基于MEMS工艺的Al N压电轮廓模式体波微谐振技术,结构和工艺类似FBAR,但具有频率范围更宽、更高的Q值、体积更小的特点。本文就对该微谐振器国内外发展现状、原理及结构特点、应用前景进行了综合性阐述,并对技术发展遇到的挑战性进行了...
关键词：压电 体声波 轮廓模式 MEMS微谐振器 
基于相位匹配的高性能吸收型陷波器
《信息记录材料》2018年第3期68-69,共2页钱丽勋 郑升灵 李宏军 
介绍了一种高性能吸收型陷波器。此陷波器利用相位匹配方式实现吸收陷波,电路形式可以采用LC集总参数实现,也可以采用微带分布结构实现。LC结构陷波器使用传输线替代高低通LC电路实现相移,减少了元器件数量从而提高了调试效率,利用低Q...
关键词：陷波器 相位匹配 Q值补偿 
PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作
《信息记录材料》2018年第1期35-37,共3页钱丽勋 郑升灵 李宏军 
文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利用多物理场原理对压电谐振器结构进行了仿真优化。多物理场仿真可以更加直观,深入的理解PCMR的工作原理...
关键词：多物理场仿真 压电轮廓模式谐振器 微型机电系统 
基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
《压电与声光》2014年第1期1-3,共3页郑升灵 李丽 要志宏 李宏军 李丰 
介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机...
关键词：氮化铝(AlN) 轮廓模式 体声波 矩形盘谐振器 
S波段FBAR滤波器芯片的研制被引量：9
《压电与声光》2013年第5期617-619,623,共4页李丽 郑升灵 李丰 李宏军 
国家重点基础研究发展计划基金资助项目(2009CB320200)
采用完全自主的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器设计、工艺技术,制备了S波段FBAR滤波器芯片。该FBAR滤波器的电路结构为梯形结构,采用一维Mason模型进行了仿真、优化。在工艺上采用空气隙型结构,突破了高c轴取向AlN压电薄膜淀积、精密空...
关键词：薄膜体声波谐振器（FBAR）滤波器 一维Mason模型 AlN压电薄膜 空气腔 
高性能AlN薄膜体声波谐振器的研究被引量：5
《半导体技术》2013年第6期448-452,共5页李丽 郑升灵 王胜福 李丰 李宏军 
报道了一种空气隙型S波段薄膜体声波谐振器,该谐振器采用一维Mason模型进行仿真,电极材料选用Mo,压电薄膜材料选用AlN,通过对AlN薄膜制备条件的优化,得到了半高宽为3.32°的AlN压电薄膜,并用于研制薄膜体声波谐振器。测试结果表明,其串...
关键词：一维Mason模型 AlN压电薄膜 有效机电耦合系数 Q值 MBVD模型 
1.8GHz AlN薄膜体声波谐振器的研制被引量：5
《半导体技术》2012年第2期146-149,共4页王胜福 许悦 郑升灵 韩东 
提出了基于AlN压电薄膜多层结构的1.8 GHz射频薄膜体声波谐振器(FBAR),并进行了研究。采用修正后的MBVD等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用半导体加工工艺制备器件的工艺流程,并实际制做谐振器样品,样品的测试结...
关键词：薄膜体声波谐振器 滤波器 振荡器 Q值 有效机电耦合系数(Keff 2) 
一种新型具有陷波特性同轴介质带通滤波器
《半导体技术》2011年第5期389-392,共4页郑升灵 厉建国 
针对同轴介质滤波器有限传输零点不易实现的问题,介绍了一种新颖的带陷波特性的介质带通滤波器,由1/4波长的同轴介质谐振器相互耦合,并在任意入出端级联一段吸收网络组合优化而成。该网络在通带外边缘既产生了有限传输零点,又增加了滤...
关键词：同轴介质谐振器 有限传输零点 带通滤波器 吸收网络 耦合电路 
一种高矩形平延时带通滤波器的设计
《半导体技术》2009年第7期711-714,共4页郑升灵 李宏军 
高性能微波通信系统对滤波器的性能要求越来越高。特别是在中频输出电路或脉冲调制系统中,为保证信号波形无畸变的输出,高矩形系数、带内平坦、平延时的滤波器受到相当重视。传统的滤波器不能满足要求,介绍了一种新型中频带通滤波器的设...
关键词：高矩形 平延时 集成滤波器 微波通信 
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