李丽

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供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
发文主题：ALN氮化铝谐振器体声波更多>>
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基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
《压电与声光》2014年第1期1-3,共3页郑升灵 李丽 要志宏 李宏军 李丰 
介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机...
关键词：氮化铝(AlN) 轮廓模式 体声波 矩形盘谐振器 
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