化学气相沉积技术的研究与应用进展  

作　　者：杨西[1] 杨玉华[1] 

机构地区：[1]兰州交通大学化学与生物工程学院,甘肃兰州730070

出　　处：《甘肃水利水电技术》2008年第3期211-213,共3页Gansu Water Resources And Hydropower Technology

摘　　要：论述了化学气相沉积(CVD)技术的基本原理、特点和最新发展起来的具有广泛应用前景的几种CVD新技术,同时分析了化学气相沉积技术的发展趋势,并展望其应用前景。

关 键 词：化学气相沉积 应用 发展 

分 类 号：TG156.8[金属学及工艺—热处理]