对PⅢ处理的氧化铌膜和氮化钛膜的硬度研究  

作　　者：欣欣 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1997年第10期14-16,共3页

关 键 词：氧化铌 氮化钛 硬度 等离子体 离子注入 薄膜 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理] O539[理学—物理]