有辅助磁场的微波等离子体处理装置  

作　　者：卫冰 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1997年第7期10-11,共2页

关 键 词：半导体 ECR CVD 微波 等离子体处理 

分 类 号：TN015[电子电信—物理电子学] TN405