MEMS振荡器的技术简介和发展前景  

作　　者：沈培宏[1] 

机构地区：[1]华东电子集团公司,南京210028

出　　处：《光电技术》2008年第3期14-19,共6页

摘　　要：本文简要阐述MEMS振荡器的工作原理、性能特点和发展前景。

关 键 词：MEMS RESONATOR MEMS oscillator微机电系统 

分 类 号：TN752[电子电信—电路与系统] TH-39[机械工程]