亚微纳科技公司领先推出VERSALIS FXP  

出　　处：《电子工业专用设备》2008年第9期74-75,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：亚微纳技术公司是一家服务于全球半导体业及相关市场的供应商，主要提供先进半导体生产设备及工艺技术，日期宣布推出VersalisfxP系统。它是一个200／300mm集群系统，专为利用穿硅通孔技术制造三维集成电路而设计。亚微纳公司在开发此类研发用工艺整合解决方案方面处于领先地位，该技术可包含数个不同工序，包括蚀刻、PVD及CVD，

关 键 词：半导体生产设备 微纳技术 科技 三维集成电路 半导体业 集群系统 供应商 P系统 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TP271[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]