微细加工技术的原理和应用研究  

作　　者：陈宏圣[1] 

机构地区：[1]泰山学院,山东泰安271000

出　　处：《机电产品开发与创新》2008年第5期191-192,共2页Development & Innovation of Machinery & Electrical Products

摘　　要：伴随着微机械和微机电系统的发展,微细加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术,本文分析了微细加工的技术原理,指出了微细加工的应用和最新的发展及应用情况。

关 键 词：微细加工 微机械 自动化 

分 类 号：TG68[金属学及工艺—金属切削加工及机床]