金刚石基压电薄膜研究进展  

Research Progress in Piezoelectric Thin Films on Diamond Substrates

作　　者：杨晓朋[1] 宋平新[1] 王新昌[1] 姚宁[1] 张兵临[1] 

机构地区：[1]郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州450052

出　　处：《材料导报（纳米与新材料专辑）》2008年第2期301-304,共4页

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.50702051)

摘　　要：移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(SAW)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料。综述了ZnO/diamond、AlN/diamond和LiNbO_3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势。The rapid development of communication systems has increased the demand on high frequency sur face acoustic waves （SAW） devices. The piezoelectric film/diamond structures are promising candidates due to the high acoustic wave velocity of the diamond. The latest progresses in theoretical calculations and experimental research of SAW properties of ZnO/diamond, AIN/diamond and LiNbO3/diamond structures are reviewed. In the end, the development trends are forecasted.

关 键 词：压电薄膜 金刚石 声表面波 

分 类 号：TN65[电子电信—电路与系统] TM22[一般工业技术—材料科学与工程]