基于椭偏法的薄膜光学特性的测量——消光法在椭偏法中的应用  

作　　者：蔡刚刚[1] 

机构地区：[1]国防科技大学,湖南长沙410073

出　　处：《大众科技》2008年第11期27-29,共3页Popular Science & Technology

摘　　要：文章首先说明了薄膜光学特性的测量在实际应用中的重要性,然后提出薄膜光学特性测量的方法——椭圆偏振法,详细推导了在用消光法计算薄膜光学特性时各参量的计算公式,并对其进行了一定的简化,使其更容易满足实际应用的要求。最后进一步分析了在实际应用中薄膜厚度和折射率的测量与计算方法。

关 键 词：椭偏法 消光法 费涅尔公式 复振幅 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]