碲镉汞红外焦平面器件热失配应力研究  

STUDY ON THERMAL MISMATCH STRESS OF HgCdTe INFRARED FOCAL PLANE ARRAY

作　　者：李言谨[1] 何力[1] 杨建荣[1] 丁瑞军[1] 张勤耀[1] 胡晓宁[1] 王建新[1] 倪云芝[1] 唐红兰[1] 曹菊英[1] 王正官[1] 吴云[1] 朱建妹[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所,上海200083

出　　处：《红外与毫米波学报》2008年第6期409-412,共4页Journal of Infrared and Millimeter Waves

基　　金：国防预研(42201030102)资助项目

摘　　要：采用有限元分析方法研究了碲镉汞红外焦平面器件在低温下由于不同热膨胀系数引起的热失配应力,提出了两种焦平面器件结构,可以有效地降低热应力,并应用于实际器件的制备,明显提高了碲镉汞焦平面器件的可靠性.Thermal mismatch stress for HgCdTe infrared focal plane array was analyzed by finite elements method. According to the analyzing results, two configurations of infrared focal plane array were proposed to reduce the thermal mismatch stress effectively. The reliability of HgCdTe infrared focal plane array was raised obviously.

关 键 词：红外焦平面 HGCDTE 热应力 可靠性 

分 类 号：O472[理学—半导体物理]