Aviza推出全球首款用于300mm离子束沉积系统  

出　　处：《中国集成电路》2008年第12期5-6,共2页China lntegrated Circuit

摘　　要：亚微纳公司公开发布世界上第一个可用于300毫米的离子束沉积系统——stratIon^TM fxP。该系统将被用于开发下一世代立基于磁隧道接合的器件之应用，其范围包括磁阻式随机存储器、硬盘驱动读取头或射频组件。同时也将被用于先端互补金属氧化物半导体金属栅极之沉积。

关 键 词：沉积系统 离子束 互补金属氧化物半导体 随机存储器 射频组件 金属栅极 FXP 磁阻式 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]