表面等离子共振Ag/TiO_2复合膜气体传感器  

Surface plasmon resonance gas sensor with composite of Ag/TiO_2 film layer

作　　者：符运良[1] 

机构地区：[1]海南师范大学物理系,海南海口571158

出　　处：《传感器与微系统》2008年第12期91-93,共3页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：海南省自然科学基金资助项目(80690);海南省教育厅高校科研基金资助项目(HJ200855)

摘　　要：提出一种新型的Ag/TiO2复合膜三甲胺(TMA)气敏光化学表面等离子共振(SPR)传感器结构。结构中使用一只金红石材料作成的棱镜作为耦合棱镜,在棱镜的底边采用射频溅射技术制作Ag/TiO2复合膜,Ag膜和TiO2膜的厚度分别为50 nm和100 nm,在复合膜上设置待测气体的样品池。在He-Ne光入射激励下,复合膜的分界面发生SPR现象。实验结果表明:SPR角与TMA气体的体积分数基本呈线性比例关系。A novel surface plasmon resonance （SPR）trimethylamine （TAM）gas sensor structure coated a combined Ag and TiO2 film is proposed. The combined film is prepared by RF-reactive-sputtering deposition on rutile prism, and the thicknesss of Ag and TiO2 films are 50 nm and 100 nm, respectively. A gas sample cell is set up on the surface of the combined film. The phenomena of SPR occurs on the interfue of combined film under the excitation of He-Ne light. The experiments show that the SPR angle is almost linear with the TAM volume fraction.

关 键 词：表面等离子共振 AG/TIO2 复合膜 共振角 三甲胺体积分数 

分 类 号：O657.3[理学—分析化学]