硬质合金刀具上的类金刚石薄膜硬度的研究  

Study on Hardness of Diamond-like Carbon Film on Cemented Carbide Blades

作　　者：谢鹏[1] 汪建华[2,1] 王传新[2,1] 满卫东[2,1] 王升高[2,1] 熊礼威[2,1] 

机构地区：[1]武汉工程大学材料学院,湖北武汉430073 [2]湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430073

出　　处：《硬质合金》2008年第4期257-260,共4页Cemented Carbides

基　　金：国家自然科学基金(50572075);湖北省教育厅2004年创新团队项目;湖北省教育厅Q20081505项目

摘　　要：采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理,找出了最佳的生长参数。The diamond-like carbon （DLC） films were deposited by radio frequency （rf） plasma enhanced chemical vapor deposition （RF-PECVD） using H2/CH4 as reactive gases. The influences of various factors including plate distance, methane concentration, radio frequency power and film thickness on DLC film hardness have been researched. Finally, the optimum deposition parameter has been found out.

关 键 词：类金刚石薄膜 射频辉光等离子体 硬度 硬质合金 

分 类 号：TG711[金属学及工艺—刀具与模具]