三级建模微型机电系统多学科优化设计法  

Multidisciplinary Optimization Design Method for Three-levels Modeling MEMS

作　　者：欧彦江[1,2] 殷国富[1] 周长春[1] 刘丽[1] 

机构地区：[1]四川大学制造学院,四川成都610065 [2]成都电子机械高等专科学校机械系,四川成都610031

出　　处：《制造技术与机床》2009年第1期53-57,共5页Manufacturing Technology & Machine Tool

基　　金：教育部高校博士点基金项目(20060610033)

摘　　要：针对微型机电系统(MEMS)设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,以自顶向下的三级建模法为基础,结合多学科优化设计法,提出了基于三级建模的微型机电系统多学科优化设计法。该方法既保持了三级建模法设计效率高的优点,又能够很好地解决MEMS设计中多学科耦合的问题,比较适合复杂MEMS的设计任务,可以进一步提高设计效率。该方法在微加速度计设计中的应用,证明了该方法在MEMS设计中的有效性。This paper introduced a multidisciplinary optimization design method based on three - levels modeling for MEMS （Micro Electro Mechanical System） , in order to solve the challenges in MEMS design such as muhidisciplinary design and long design period. This method keeps the efficiency of three - levels modeling and also can solve the coupling problem of multi - disciplinary in design of MEMS. The application of this method in the design of micro acceleration sensor proved this method＇s validity in design of MEMS.

关 键 词：微型机电系统(MEMS) 建模 多学科优化设计 

分 类 号：TP391.9[自动化与计算机技术—计算机应用技术] TH-39[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]