CAD技术在微电子工艺设计及器件特性分析中的应用  

The Application of CAD Technique in the Microelectronic Technology Design and Device Characteristic Analyses

作　　者：李惠军[1,2] 王凤英[1,2] 

机构地区：[1]山东工业大学 [2]济南半导体总厂

出　　处：《半导体情报》1998年第1期35-41,共7页Semiconductor Information

摘　　要：集成电路工艺及器件特性计算机辅助设计系统是微电子ＣＡＤ系统的重要组成部分。本文介绍了该系统在集成电路工艺设计及器件设计中的部分应用。The IC processing and device characteristic CAD system are very important parts in the microelectronic CAD system. This paper showed the applications of the sys- tem in integrated circuits process design and device design.

关 键 词：集成电路 计算机辅助设计 制造工艺 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学] TN405