硅微机械音叉陀螺检测灵敏度与固有频率的关系  

Relationship Between Sensitivity of Silicon MicromechanicalTuning-Fork Gyroscopy and Its Natural Frequencies

作　　者：阮爱武[1] 李万玉[2,3] 冯培德 

机构地区：[1]西北工业大学自动控制系 [2]西安交通大学电信学院 [3]航空工业总公司六一八研究所

出　　处：《传感器技术》1998年第1期12-15,共4页Journal of Transducer Technology

摘　　要：检测灵敏度直接关系到陀螺性能的优劣。并尝试用静电力调节敏感模态谐振频率，以提高检测灵敏度。Micromechanical gyro performance is dependent on its sensitivity. How to tune the sense mode resonance frequency to improve the sensitivity are discussed.

关 键 词：陀螺 微机械音叉陀螺 谐振频率 灵敏度 

分 类 号：O318[理学—一般力学与力学基础]