聚焦离子束系统——基础与应用  

Focused Ion Beam Systems ：Basics and Applications

作　　者：李少霞[1] 

机构地区：[1]中国科学院力学研究所博士生

出　　处：《国外科技新书评介》2008年第11期11-12,共2页Scientific & Technology Book Review

摘　　要：聚焦离子束系统对于理解和掌握纳米级的材料结构来说是一个非常重要的工具。将这个系统和电子束结合起来组成一个双束系统，这个独立体系可以用来成像、分析以及作为样本修改工具。本书讲述了聚焦离子束系统的原理、性能、挑战与应用，全面覆盖了离子束技术的最新发展成果，包括双束系统。

关 键 词：聚焦离子束系统 应用 基础 修改工具 离子束技术 材料结构 纳米级 电子束 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] TU753[建筑科学—建筑技术科学]