聚焦离子束系统

作品数：23被引量：41H指数：4
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相关作者：汪健如应根裕董桂芳顾长志韩晓东更多>>
相关机构：清华大学FEI公司中国科学院东南大学更多>>
相关期刊：《大学物理实验》《电子工业专用设备》《集成电路应用》《等离子体应用技术快报》更多>>
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聚焦离子束系统虚拟仿真实验项目的建设与教学被引量：3
《大学物理实验》2021年第1期117-122,共6页张朋波 张映辉 付姚 陈宝玖 刘开颖 刘伟 殷燕 李香萍 夏文文 邢明铭 盛德元 张秋红 薛晓红 
2019教育部高等学校教学研究项目(DJZW201904db);2020年大连海事大学教学改革项目(2020Y96);大连海事大学2020年教师发展专题立项(JF2020Y10)。
主要对聚焦离子束系统虚拟仿真实验教学项目的建设和教学实践进行了总结和探讨。本实验针对扫描电子显微镜观测和离子束刻蚀沉积的相关实验内容在本科教学中难以真实实现的现状,开发了聚焦离子束系统仿真实验,能够开展样品制备和装载、...
关键词：聚焦离子束系统 大学物理实验 实验教学 教学改革 
Helios G4等离子聚焦离子束系统 赛默飞世尔科技有限公司
《传感器世界》2017年第7期51-51,共1页
新型HeliosG4等离子聚焦离子束（FIB）系统，是赛默飞最新一代的双束显微镜，可对各类半导体器件进行逆向剥层处理，并提供超高分辨率扫描电子显微镜（SEM）分析。
关键词：聚焦离子束系统 等离子 扫描电子显微镜 G4 半导体器件 超高分辨率 
黄铜镀层和橡胶粘接界面化学结构的分析技术
《世界橡胶工业》2016年第6期54-54,共1页赵冬梅 
研究轮胎中橡胶与钢丝帘线黄铜镀层之间的粘合与破坏机理,可以采取各种不同的分析方法。早期的研究者大多运用先前比较成熟的方法,包括X射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）和X射线衍射（XRD）等分析方法。近期的研究工作采用...
关键词：粘接界面 黄铜镀层 化学结构 技术 橡胶 X射线光电子能谱 飞行时间二次离子质谱 聚焦离子束系统 
基于FIB和TEM的纳米材料中界面分层破坏的实验方法研究与应用被引量：1
《中国科学：物理学、力学、天文学》2014年第6期593-598,共6页闫亚宾 北村隆行 澄川贵志 
中国工程物理研究院科学技术发展基金(编号:2013B0302043);国家自然科学基金(批准号:11302205)资助项目
本文针对三维尺寸均处于纳米量级的材料与结构中常见的界面分层破坏问题,利用聚焦离子束技术(FIB)和透射电子显微镜(TEM)开发设计了一套研究纳米材料中界面端部裂纹启裂行为的实验方法.采用FIB成功从宏观多层薄膜材料(硅/铜/氮化硅,Si/C...
关键词：纳米尺度 聚焦离子束系统 透射电子显微镜 界面 裂纹启裂 薄膜 
用于聚焦离子束系统的离子源
《原子核物理评论》2011年第4期439-443,共5页尚勇 赵环昱 
国家自然科学基金资助项目(60706006;10225523)~~
介绍了现阶段两种用于聚焦离子束系统的离子源——液态金属离子源和气体场发射离子源的基本原理,并对比了它们的优缺点。由于目前这两种离子源都难以满足纳米加工领域不断提高的技术要求,因此提出了一种用于聚焦离子束的新型离子源——...
关键词：聚焦离子束系统 液态金属离子源 气体场发射离子源 电子束离子源 
聚焦离子束系统——基础与应用
《国外科技新书评介》2008年第11期11-12,共2页李少霞 
聚焦离子束系统对于理解和掌握纳米级的材料结构来说是一个非常重要的工具。将这个系统和电子束结合起来组成一个双束系统，这个独立体系可以用来成像、分析以及作为样本修改工具。本书讲述了聚焦离子束系统的原理、性能、挑战与应用，...
关键词：聚焦离子束系统 应用 基础 修改工具 离子束技术 材料结构 纳米级 电子束 
聚焦离子束系统液态金属离子源的研制被引量：2
《真空科学与技术学报》2008年第4期331-336,共6页马向国 刘同娟 顾文琪 
设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源(Liquid Metal lon Source-LMIS),本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行...
关键词：聚焦离子束 液态金属离子源 测试系统 发射特性 
仪器仪表技术
《中国学术期刊文摘》2007年第24期89-93,共5页
柱面系统无畸变指纹采集仪的光学设计,AFM的纳米硬度测试与分析,磁动式氧含量分析仪的研制,显微镜自动粗调焦的TennenGrad改进算法,应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计,一种新型差动式压电加速度传感器.
关键词：仪器仪表技术 聚焦离子束系统 压电加速度传感器 指纹采集仪 光学设计 硬度测试 改进算法 透镜设计 
应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计被引量：2
《光学精密工程》2007年第6期829-834,共6页李文萍 顾文琪 
科技部科学仪器设备升级改造专项项目(No.2005JG100050)
在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计。给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统,并研究了像平面处的离子束性能。采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数,并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦距的比为优化目...
关键词：聚焦离子束 静电透镜 阻尼最小二乘法 工作模式 束流密度分布 
聚焦离子束系统在微米/纳米加工技术中的应用被引量：11
《材料导报》2006年第F11期40-43,46,共5页张继成 唐永建 吴卫东 
中国工程物理研究院基金资助课题(课题编号:0344020)
聚焦离子束系统是微细加工和分析的主要技术之一,是一个完美的微米/纳米技术研究平台。简述了聚焦离子束系统的组成和主要功能,着重介绍了近年来该技术在离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、离子束辅助沉积、离子注入、微区分析、掺杂和成像...
关键词：聚焦离子束 刻蚀 沉积 离子注入 微区分析与加工 无掩膜曝光 
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