Helios G4等离子聚焦离子束系统 赛默飞世尔科技有限公司  

出　　处：《传感器世界》2017年第7期51-51,共1页Sensor World

摘　　要：新型HeliosG4等离子聚焦离子束（FIB）系统，是赛默飞最新一代的双束显微镜，可对各类半导体器件进行逆向剥层处理，并提供超高分辨率扫描电子显微镜（SEM）分析。

关 键 词：聚焦离子束系统 等离子 扫描电子显微镜 G4 半导体器件 超高分辨率 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]