李文萍

作品数：7被引量：9H指数：2
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发文主题：电子束束流聚焦离子束电子枪高功率密度更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《微细加工技术》《电子显微学报》《光电工程》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项科技部科学仪器设备升级改造专项项目更多>>
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无相互作用自由空间电子光学与量子电子显微镜
《电子显微学报》2024年第3期362-370,共9页赵利荣 崔益民 彭腾飞 李文萍 
国家自然科学基金资助项目(No.12375283).
本文围绕着生物等敏感样品的高分辨透射电子显微成像展开,从电子显微成像等方面论述了透射电子显微镜在敏感样品领域的发展,重点介绍了基于无相互作用测量(IFM)的量子电子相干成像机理,分析了自由空间电子光学中电子IFM对耦合相干电子...
关键词：透射电子显微镜 无相互作用测量 自由空间电子光学 量子电子显微镜 
基于纳米晶材料的高频大范围偏转器研究被引量：4
《电子显微学报》2021年第4期452-459,共8页孟彦亭 王鹏飞 刘俊标 殷伯华 李文萍 韩立 
国家重点研发计划(No.2018YFB1105202);先进封装X射线3D检测技术创新交叉团队项目(No.JCTD-2019-02);高精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制项目(No.2020B0101320002).
在电子束焊接、电子束增材制造等多种应用技术中,偏转器的性能直接影响着电子束的加工效率和质量,其中包括偏转器的偏转范围和高频性能。偏转场分布的均匀性、场强大小和响应速度是影响偏转器性能的关键,而磁偏转器的结构和材料是决定...
关键词：电子束增材制造 磁偏转器 纳米晶 磁场分布 电感值 
基于Matlab的磁透镜场分布计算与优化分析被引量：3
《电子显微学报》2020年第3期250-255,共6页史丽娜 刘俊标 李文萍 韩立 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2017YFF0107202);中国科学院关键技术研发团队项目(No.GJJSTD20170005).
磁透镜聚焦是获得微束斑电子束的一种主要方法,磁透镜的场分布直接影响着电子束的品质。为了解决商业软件难以实现的磁透镜参数化设计,本文基于Matlab编制了计算磁透镜场分布的有限元法程序,实现了磁透镜参量的系列化设计,并搭建了磁场...
关键词：磁透镜 磁场分布 有限元法 磁矢位 
高功率密度微焦斑X射线源聚焦系统的设计被引量：1
《电子显微学报》2019年第2期112-117,共6页王丽娟 刘俊标 赵伟霞 李文萍 韩立 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2017YFF0107202);中国科学院关键技术研发团队资助项目(No.GJJSTD20170005);中国科学院关键技术团队"微纳加工技术及装备研究团队"项目(No.GJJSTD2017004)
X射线源是X射线显微成像系统的核心部件,其功率密度和焦斑大小与聚焦系统密切相关。本文对高功率密度微焦斑X射线源的聚焦系统进行了优化设计,包括透镜结构设计、多透镜工作模式的选择、透镜间距优化等。本文设计了小球差系数的物镜;提...
关键词：高功率密度 电子光学 聚焦系统 磁透镜 电子束 
自动微分法求解粒子光学像差的精度分析
《微细加工技术》2007年第4期30-33,58,共5页李文萍 顾文琪 
将自动微分算法扩展到实际非解析场时会出现误差,从算法原理和具体实现的过程中分析了误差的来源及其相应的减小措施,提出用高稳定性的三次样条曲线插值将数值求解的场解析成任意节点处的场及其各阶导数,可以直接进行轨迹追踪。改进后,...
关键词：自动微分 误差分析 有限元素法 样条函数 
应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计被引量：2
《光学精密工程》2007年第6期829-834,共6页李文萍 顾文琪 
科技部科学仪器设备升级改造专项项目(No.2005JG100050)
在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计。给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统,并研究了像平面处的离子束性能。采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数,并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦距的比为优化目...
关键词：聚焦离子束 静电透镜 阻尼最小二乘法 工作模式 束流密度分布 
纳米制造和测量技术产业化的研究
《光电工程》2006年第12期15-18,22,共5页李文萍 顾文琪 
从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度，分析了纳米加工产业化面临的问题，并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术。多离子柬聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0．5～5μm的加工空白，并会...
关键词：多离子束聚焦投影 掩模板 纳米制造 纳米测量 
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