国内外超精密加工技术与机床的发展状况  

作　　者：杨桂霞[1] 梁鑫[2] 

机构地区：[1]黑龙江省机械科学研究院 [2]中国船舶工业集团公司第605研究院

出　　处：《机械工程师》2009年第1期9-11,共3页Mechanical Engineer

摘　　要：超精密加工技术每前进一步,都离不开创新,这是由超精密加工技术所处的位置决定的,因为这门技术始终处在发展的前沿,飞速发展的需求决定了它必须创新。例如金刚石车刀的刃口圆弧半径达到2～4nm,就可切削下小于1nm厚度的切屑,为更高精度的加工创造了前提;摩擦驱动的出现,完全解决了滚珠丝杆的发热、振动、振摆和噪音等的不足,使获得更佳的质量具有可能性;冷却液的温度能控制到20℃±0.0005℃,在喷淋下切削可以保证高精度……

关 键 词：超精密加工 大规模集成电路芯片 超精密切削加工 国内外 扫描隧道电子显微镜 机床 纳米级精度 金刚石刀具 

分 类 号：TG669[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TN405.98[电子电信—微电子学与固体电子学]