梁鑫

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国内外超精密加工技术与机床的发展状况被引量：1
《机械工程师》2009年第1期9-11,共3页杨桂霞 梁鑫 
超精密加工技术每前进一步,都离不开创新,这是由超精密加工技术所处的位置决定的,因为这门技术始终处在发展的前沿,飞速发展的需求决定了它必须创新。例如金刚石车刀的刃口圆弧半径达到2～4nm,就可切削下小于1nm厚度的切屑,为更高精度...
关键词：超精密加工 大规模集成电路芯片 超精密切削加工 国内外 扫描隧道电子显微镜 机床 纳米级精度 金刚石刀具 
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