准分子激光器实现亚微米级光刻工艺  

作　　者：卢晓蓉 刘哲伦 

出　　处：《激光与光学》1990年第2期8-9,共2页

关 键 词：光刻工艺 微米级 准分子 激光器 

分 类 号：TN405.7[电子电信—微电子学与固体电子学]