S01材料研究和应用的新进展及产业化建议  

作　　者：肖仁耀[1,2] 

机构地区：[1]国防科学技术大学,湖南长沙410073 [2]中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111

出　　处：《中国科技博览》2008年第18期202-203,共2页China Science and Technology Review

摘　　要：简述了绝缘体上硅（SOI）材料的最新研究动态和国外SOI的最新产业化情况，介绍了国内SOI材料的最新研究进展和应用情况，并对国内SOI材料大规模应用提出了切实的建议。

关 键 词：SOI SOI产业化 离子注入机 器件 

分 类 号：TB3[一般工业技术—材料科学与工程]