略谈智能传感器的设计与制造  

About Some Problems in Design and Making Smart Sensors

作　　者：王祁[1] 于航[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《传感器技术》1998年第2期50-53,共4页Journal of Transducer Technology

摘　　要：简要介绍了智能传感器设计与制造，其中包括微机械加工技术及电子电路的设计。Some problems in design and making smart sensors, including some consideration about micromachining processing technology and electronic circuit design are introduced.

关 键 词：智能传感器 微机械加工 设计 制造 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH－39[自动化与计算机技术—控制科学与工程]