微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用  

Measurement Mapping Technique of Sheet Resistance for Microarea Using Microprocessor

作　　者：孙新宇[1] 王鑫[1] 孙以材[1] 孟庆浩 孙冰[2] 李福林 

机构地区：[1]河北工业大学电子工程系 [2]天津计量技术研究所 [3]天津第四半导体器件厂

出　　处：《半导体技术》1998年第2期18-23,共6页Semiconductor Technology

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法，将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全片的灰度图，这种Ｍａｐｐｉｎｇ技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理器，可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻，加快了计算速度并有利于控制探针的合适位置。A new microarea inclined four probe technique is used for measuring sheet resistance.Its distribution is shown with the grey scale.This mapping technique is more suitable to assess material quality.In the measurement process,we adopted a microprocessor to pick up the measured voltages and to show the digital values of them respectively,finally to turn into the digital sheet resistance.Thus,that speeds up calculating processes and is advantageous to control the proper positions of the probes.

关 键 词：微区薄层电阻 探针技术 微处理器 测试 IC 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学] TP332.062[自动化与计算机技术—计算机系统结构]