微区薄层电阻

作品数：10被引量：21H指数：3
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基于ELVIS的薄层电阻测试系统设计
《现代仪器与医疗》2017年第5期26-27,40,共3页刘宝栋 刘新福 吴鹏飞 莎桐桐 
国家自然科学基金资助项目,NO.69272001,61171048;河北省高层次人才资助项目,NO.C2013005003
在分析薄层电阻测试方法及原理基础上,利用NI LabVIEW软件及NI ELVIS硬件完成改进的范德堡法的测试系统设计。硬件电路的数据采集由NI ELVIS完成,软件部分以数据处理模块为核心,经数据分析后进行显示,并可实现数据存储与读取。最后,通...
关键词：ELVIS LABVIEW 微区薄层电阻 改进范德堡法 
基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究被引量：1
《半导体技术》2009年第10期949-952,共4页任献普 刘新福 黄宇辉 柳春茹 赵晓然 赵丽敏 
河北省教育厅科技计划项目(2006449);河北省科学技术研究与发展指导性计划项目(06213544)
分析了各种半导体材料电阻率测量方法的优缺点及适用性,利用电阻抗成像技术(EIT),探究了一种用来检测Si片内微区薄层电阻率均匀性的无接触测试技术。实现这种测试技术的硬件电路系统主要由激励模块恒流源、驱动模块多路模拟开关、信号...
关键词：半导体测试 数字信号处理器 电阻抗成像技术 薄层电阻 
基于单片机的四探针测试系统的研制被引量：1
《传感器世界》2009年第2期52-56,47,共6页常涛 孙以材 潘国峰 
利用改进的Rymaszewski法自动消除探针纵向游移影响的优点,将它应用于斜置式方形探针测试法中;在斜置式方形四探针机械平台的基础上,完成了整个测试电路的硬件设计和软件编程,研制出一台具有输出高精度高稳定性恒流源的斜置式方形探针...
关键词：四探针测试技术 微区薄层电阻 改进Rymaszewski法 数控恒流源 
四探针和EIT测试微区薄层电阻的研究与进展被引量：5
《半导体技术》2007年第5期369-373,共5页谢辉 刘新福 贾科进 闫德立 田建来 
河北省教育厅科技计划支持项目(2006449);河北省科学技术研究与发展指导性计划支持项目(06213544)
论述了一种测试大型硅片电阻率均匀性的新方法———电阻抗成像技术(EIT)。给出了四探针的基本原理,指出EIT的基本思想来源于四探针技术。对EIT的基本原理和重建算法在理论上进行了描述,提出可将其应用于微区薄层电阻测试,并对EIT在大...
关键词：四探针法 电阻抗成像 微区薄层电阻 
基于EIT技术的微区薄层电阻无接触测试技术研究被引量：1
《河北工业大学学报》2006年第5期72-76,共5页谢辉 高强 刘新福 
论述了用无接触方法测试大型硅片电阻率均匀性的新方案.回顾了EIT技术的发展与成果,对其基本原理和重建算法在理论上进行了描述,提出可将其应用于微区薄层电阻测试,并就测试细节做了进一步探索,最后就其应用前景作了展望.这一技术与传...
关键词：电阻抗断层成像技术 正问题 逆问题 四探针技术 薄层电阻 
微区薄层电阻测试方法的研究被引量：2
《河北工业大学学报》2003年第3期15-18,共4页刘新福 孙以材 
国家自然科学基金(69272001);河北省自然科学基金(602076);天津市自然科学基金(013602011)
对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法。
关键词：微区薄层电阻 改进范德堡法 四探针测试技术 Mapping技术 
微区薄层电阻四探针测试仪及其应用被引量：12
《固体电子学研究与进展》2002年第1期93-93,共1页孙以材 刘新福 高振斌 孟庆浩 孙冰 
国家自然科学基金资助课题 (批准号 692 72 0 0 1);天津市自然科学基金项目(批准号 0 13 60 2 0 11);河北省自然科学基金项目 (2 0 0 1年 )
用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。
关键词：微区薄层电阻 探针技术 范德堡法 四探针测试仪 
微区薄层电阻四探针测试仪及其应用被引量：3
《现代仪器》2000年第1期37-42,共6页孙以材 孟庆浩 
国家自然科学基金资助课题;天津市发明三等奖(1998);天津市技术监督局认定(1997)
用斜置的四探针方法,依靠显微镜观察,将针尖置于微区图形的四个角区,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。本文对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器,加快了计算速度。
关键词：微区薄层电阻 范德堡法 四探针测试仪 计算机 
微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用被引量：2
《半导体技术》1998年第2期18-23,共6页孙新宇 王鑫 孙以材 孟庆浩 孙冰 李福林 
国家自然科学基金
利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法，将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全片的灰度图，这种Ｍａｐｐｉｎｇ技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理器，可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层电阻，加快了计...
关键词：微区薄层电阻 探针技术 微处理器 测试 IC 
微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用
《微电子技术》1997年第3期55-62,共8页孙新宇 孟庆浩 孙以材 孙冰 李福林 
国家自然科学基金;天津市重大科技成果项目;天津市技术监督局认定项目!<微区薄层电阻测试探针技术>
本文利用微区薄层电阻测试的一种斜置四探针新方法，将扩散微区薄层电阻测试结果绘成全片的灰度图，这种微区薄层电阻测试Mapping技术十分有利于评价材料的质量。在测试过程中应用微处理器，可立即数字显示相应的测量电压及微区的薄层...
关键词：微区薄层电阻 探针技术 微处理器 
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