微区薄层电阻四探针测试仪及其应用  

Four-probe Instrument for Measuring Sheet Resistance of Microareas and Its Application

作　　者：孙以材[1] 刘新福 高振斌[1] 孟庆浩[1] 孙冰 

机构地区：[1]河北工业大学电气信息学院,天津300130 [2]天津计量研究所,300192

出　　处：《固体电子学研究与进展》2002年第1期93-93,共1页Research & Progress of SSE

基　　金：国家自然科学基金资助课题 (批准号 692 72 0 0 1);天津市自然科学基金项目(批准号 0 13 60 2 0 11);河北省自然科学基金项目 (2 0 0 1年 )

摘　　要：用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。The sheet resistance of microareas can be obtained from a modified Van der Pauw formula by using an inclined four probe technique. The tip of probe is put at the corner of the microarea by inspection through a microscope. The condition for precise measurement is analyzed. This instrument has been used to measure the sheet resistance distribution for Boron diffusion chip. In the measuring process, a microprocessor was used to speed up the calculation.

关 键 词：微区薄层电阻 探针技术 范德堡法 四探针测试仪 

分 类 号：TN307[电子电信—物理电子学]